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2006年第4期

2007年02月02 00:00:00 来源：中国空调制冷网
集成电路（IC）工厂设计的核心问题是微污染控制，防微振作为控制振动污染，在工程设计中占有重要的地位。防微振技术涉及的环节较多，本文提出依据现场测试与工程实践经验，把握主要环节，遵从系统性的观点，采用科学的方法，解决防微振问题
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