天加ISO 1级超净环境集成系统评定为国际先进

随着电子信息产业的发展，我国信息技术产业规模多年位居世界第一，2013年产业规模达到12.4万亿元，但这种规模第一更多的是集中在整机制造领域，在核心技术和核心部件的研发和制造上还存在较大的差距。业内人士表示，要提高国际话语权，要提高利润率，要从单靠规模效应转向依靠核心价值立足，当务之急是急需加强信息技术产业的研发。

评定会现场

根据半导体产业的“摩尔定律”，硅晶圆片尺寸已从8吋向18吋迈进以及其产品线宽向18nm发展。平板显示器基板尺寸也做到了2.2×2.5米(8.5代线)，生产环境核心部分的洁净度等级需要优于ISO 3级才能满足合格电子产品的生产需求，除此之外对生产环境中的有害气体成分：硫化物、氮化物、氨等提出了新的要求。

而我国的超净环境核心部分均由国外设计和建造，且国内并无最高洁净度的ISO 1级超净环境，这在一定程度上制约了超大规模集成电路、高世代平板显示制造等电子信息产业的发展。但这种国内无法设计和建造ISO 1级超净环境的尴尬局面在2014年的11月份被天加空调打破，在投入一千余万元的巨额资金以及技术团队历经两年时间的技术攻关，天加空调在ISO 1级超净环境系统集成方面取得巨大的成果，经权威检测，该集成系统核心区空气洁净度管控达到国际最高标准ISO 1级,并且空气分子污染控制浓度值为ppb-ppt范围(10-9～10-12)。

评定会专家排队参观天加超净集成系统

2014年11月20日，天加空调举办了ISO 1级超净环境系统集成成果评定会，来自中国科学院、中国工程院、行业协会、高校、设计院近30名权威专家参加了此次评定，其中更有四位中科院的院士参与了此次评定会，评定会的规格之高、规模之大在行业内尚属首次。参加评定会的专家在听取天加方面关于成果的汇报、亲身体验天加建造的我国第一个国际最高等级“ISO 1级”的超净环境集成系统后，经过严谨的讨论，最终给予了“国际先进”的评定成果。

天加的 ISO 1级超净环境集成系统采用的MAU机组整合了天加成熟的专利技术和国内外同类产品的先进技术成果，采用包括进风、初效过滤、中效过滤、预加热、一级表冷、淋水、二级表冷、加热、送风机、均流、化学过滤、加湿、中效、高效过滤、出风等16个功能段，满足大尺寸芯片生产厂及大型平板显示器等高洁净度环境中新风温湿度处理以及洁净度处理的要求，并可以根据工艺要求进行功能段的灵活组合。

天加超净环境集成系统

MAU机组采用天加的发明专利技术——内外框架迷宫式密封结构制作。它将空调箱的框架和保温面板融为一体，通过高压聚氨酯发泡形成整体，箱体面板与面板之间以榫头结构连接，形成迷宫式密封；箱体内部还有暗藏方钢框架，使在组装后的每个拼接处内部都有内外两道加强筋；巧妙的设计还使面板内部与外部金属不能直接接触，从而一举解决了目前市场上空调机组漏风率高、刚度差、冷桥等技术难点。

天加超净环境集成系统

天加洁净室技术总监吴小泉表示，天加ISO 1级超净环境集成系统可开展空气分子污染AMC控制技术研究与探索，研究超净环境空调净化系统节能，研究洁净室速度场与温度场，检验空气净化设备在超净环境中运行性能等科研项目，可为芯片、液晶显示器等高科技产业，提供研发以及生产所需的高端洁净环境集成系统。

专家组主任委员王尧表示，天加ISO 1级超净环境集成系统将科研、教学、工程技术验证、环境危害直观评估集成于一个技术平台，实现了中国制造，是国内首创。超净环境核心区洁净度达到国际标准最高级别 ISO 1级，填补国家相关领域技术空白，并达到国际先进水平，对推动中国洁净室技术的科技进步具有重要意义和广泛的应用前景，希望尽快推广使用。

中国电子学会洁净技术分会、全国洁净室及

相关受控环境标准化技术委员会主任委员王尧发布评定结果

(岩风)