传感器研究中心通过验收

历时7年建设的传感器国家工程研究中心近日在项目建设单位沈阳仪表科学研究院顺利通过了专家组的验收。 该项目完成了力敏、磁敏、热敏传感器及智能仪表的设计、工艺、测试和可靠性等共性基础技术研究开发；进行了传感器微机械加工技术、厚膜工艺技术、薄膜工艺技术、特种工艺技术及信号处理技术的工程化研究；建成了国内惟一完整的硅压阻传感器中试生产线，为国内MEM S技术和工艺的产业化开了先河。 尤其是压力传感器、磁敏元件、特种热敏传感器、智能仪表等工程化项目的开展，不仅将有市场前景的科研成果转化成了产品，满足了国内市场的需求，还部分产品出口国外，与国外产品形成了竞争格局。