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2001年第4期

2004年11月18 00:00:00 来源：中国空调制冷网
提出了超高纯气体输配管路系统的设计目标和该系统安装应达到的技术标准，最终应达到或满足输送气体的中的杂质含量低于ppb级的水平。
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