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2002年第2期

2004年11月18 00:00:00 来源：中国空调制冷网
现代半导体洁净室中，生产过程所产生的有机挥发物（VOC）已成为影响产品品质关键问题之一。本文对洁净室里VOC的来源进行了分析，并对人体和洁净室结构材料产生的VOC的特性和测量方法进行了讨论。
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