提出采用阻漏层进行洁净室气流分布的概念及理论方法，顺利实现了高效过滤器过滤、密封、气流分布作用的解耦。应用实例标明，该气流分布方式能量增大单向流洁净空间的活塞流满布比，强化乱流洁净空间气流分布的主要区特性那。
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