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2000年第2期

2004年11月18 00:00:00 来源：中国空调制冷网
以我国深亚微米水平的超纯水系统的实践经验为基础，以300mm芯片厂和深深亚微米加工技术的需要为对象，推测其水质、水量的要求和费用能力，评述若干制水关键技术的现状，展望其发展。
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