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2002年第1期

2004年11月18 00:00:00 来源：中国空调制冷网
本文以16M位、64M位集成电路工厂纯水为实例，介绍了两套超纯水装置的处理流程与制水特点，它们均已通过一年多的运转的考验，处理效果稳定，水质指标分别达到了设计水质要求。
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