天加ISO 1级超净环境集成系统评定为国际先进

2014年11月25 00:00:00 来源:中国制冷空调技术网

随着电子信息产业的发展,我国信息技术产业规模多年位居世界第一,2013年产业规模达到12.4万亿元,但这种规模第一更多的是集中在整机制造领域,在核心技术和核心部件的研发和制造上还存在较大的差距。业内人士表示,要提高国际话语权,要提高利润率,要从单靠规模效应转向依靠核心价值立足,当务之急是急需加强信息技术产业的研发。

根据半导体产业的“摩尔定律”,硅晶圆片尺寸已从8吋向18吋迈进以及其产品线宽向18nm发展。平板显示器基板尺寸也做到了2.2×2.5米(8.5代线),生产环境核心部分的洁净度等级需要优于ISO 3级才能满足合格电子产品的生产需求,除此之外对生产环境中的有害气体成分:硫化物、氮化物、氨等提出了新的要求。

而我国的超净环境核心部分均由国外设计和建造,且国内并无最高洁净度的ISO 1级超净环境,这在一定程度上制约了超大规模集成电路、高世代平板显示制造等电子信息产业的发展。但这种国内无法设计和建造ISO 1级超净环境的尴尬局面在2014年的11月份被天加空调打破,在投入一千余万元的巨额资金以及技术团队历经两年时间的技术攻关,天加空调在ISO 1级超净环境系统集成方面取得巨大的成果,经权威检测,该集成系统核心区空气洁净度管控达到国际最高标准ISO 1级,并且空气分子污染控制浓度值为ppb-ppt范围(10-9~10-12)。

2014年11月20日,天加空调举办了ISO 1级超净环境系统集成成果评定会,来自中国科学院、中国工程院、行业协会、高校、设计院近30名权威专家参加了此次评定,其中更有四位中科院的院士参与了此次评定会,评定会的规格之高、规模之大在行业内尚属首次。参加评定会的专家在听取天加方面关于成果的汇报、亲身体验天加建造的我国第一个国际最高等级“ISO 1级”的超净环境集成系统后,经过严谨的讨论,最终给予了“国际先进”的评定成果。

天加的 ISO 1级超净环境集成系统采用的MAU机组整合了天加成熟的专利技术和国内外同类产品的先进技术成果,采用包括进风、初效过滤、中效过滤、预加热、一级表冷、淋水、二级表冷、加热、送风机、均流、化学过滤、加湿、中效、高效过滤、出风等16个功能段,满足大尺寸芯片生产厂及大型平板显示器等高洁净度环境中新风温湿度处理以及洁净度处理的要求,并可以根据工艺要求进行功能段的灵活组合。


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