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2005年第4期
2005年第4期
2006年02月07 00:00:00 来源:中国空调制冷网
分析了
SO
2
对半导体封装工艺的危害,并结合公司示范组装线自投产以来,一直存在净化间
SO
2
浓度流动较大的现象,对示范线净化间内
SO
2
生产来源进行了大量调查和数据测试,并提出多项改善探讨。并对上述各改善方案进行了比较分析,提出了解决半导体工厂组装车间内
SO
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低浓度化的方法。
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